复旦大学纳米级存储器光刻版加工制造科研急需采购成交结果公告

发布时间:2026-11-10浏览次数:0

一、项目编号:KYJX2026110201

二、项目名称:纳米级存储器光刻版加工制造

三、成交信息:

供应商名称:芯联集成电路制造股份有限公司

成交金额:86.3397万元

四、主要标的信息:

成交单位名称 服务名称 服务范围 服务商 服务商国别 成交金额(万)
芯联集成电路制造股份有限公司 纳米级存储器光刻版加工制造 按本项目定版版图(GDS)定制加工晶圆流片用存储器光刻版(石英铬版掩模),含制版加工、缺陷检测与修补、贴248 nm保护膜并出具检测报告,用于光刻机多层图形化;Poly/Gate层采用6%衰减PSM+MB-OPC/SRAF。 芯联集成电路制造股份有限公司 中国 86.3397

五、公告期限:

自本公告发布之日起1个工作日。

六、其它补充事宜:

科研项目负责人:孙清清

七、凡对本次公告内容提出询问,请按以下方式联系。

1.采购人信息

名称:复旦大学

地址:中国上海邯郸路220号

联系方式:联系人:郭老师 电话: 86-21-65645621