一、项目编号:KYJX2026110201
二、项目名称:纳米级存储器光刻版加工制造
三、成交信息:
供应商名称:芯联集成电路制造股份有限公司
成交金额:86.3397万元
四、主要标的信息:
| 成交单位名称 | 服务名称 | 服务范围 | 服务商 | 服务商国别 | 成交金额(万) |
| 芯联集成电路制造股份有限公司 | 纳米级存储器光刻版加工制造 | 按本项目定版版图(GDS)定制加工晶圆流片用存储器光刻版(石英铬版掩模),含制版加工、缺陷检测与修补、贴248 nm保护膜并出具检测报告,用于光刻机多层图形化;Poly/Gate层采用6%衰减PSM+MB-OPC/SRAF。 | 芯联集成电路制造股份有限公司 | 中国 | 86.3397 |
五、公告期限:
自本公告发布之日起1个工作日。
六、其它补充事宜:
科研项目负责人:孙清清
七、凡对本次公告内容提出询问,请按以下方式联系。
1.采购人信息
名称:复旦大学
地址:中国上海邯郸路220号
联系方式:联系人:郭老师 电话: 86-21-65645621