复旦大学EUV 光瞳像差设计器和一维快速仿真器科研急需采购成交结果公告

发布时间:2025-09-08浏览次数:0

一、项目编号:KYJX2025082702

二、项目名称:EUV 光瞳像差设计器和一维快速仿真器

三、成交信息:

供应商名称:上海集成电路制造创新中心有限公司

成交金额:91万元

四、主要标的信息:

成交单位名称 货物(设备)名称 采购数量 规格型号 制造商 原产国 成交金额(万)
上海集成电路制造创新中心有限公司 EUV 光瞳像差设计器和一维快速仿真器 1 CF Litho EUV 光瞳像差设计器和一维快速仿真器 上海集成电路制造创新中心有限公司 中国 91

五、公告期限:

自本公告发布之日起1个工作日。

六、其它补充事宜:

科研项目负责人:李艳丽

七、凡对本次公告内容提出询问,请按以下方式联系。

1.采购人信息

名称:复旦大学

地址:中国上海邯郸路220号

联系方式:联系人:张老师 电话: 86-21-65641292